Co/Pd多層膜垂直磁気記録媒体の微細構造と偏析効果(垂直記録,一般)
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概要
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Co/Pd多層膜垂直磁気記録媒体において,含有量を変調したボロンの偏析効果を微細構造の解析により明らかにした.シード層のボロン濃度を高めた成膜時のプロセス条件により,膜面深さ方向にボロン濃度を変調した.すなわち,多層膜の初期成長を制御するシード層とその上部近傍では,磁気的交換結合低減のためにボロン濃度を高め,磁性膜上部では保磁力低下を防ぐために,ボロン濃度を下げるようにした.広角散乱暗視野(HAADF, high annular angle dark field)走査電子顕微鏡像による微細構造は適度な磁性膜の粒界分離を示し,エックス線光電子分光法(XPS, X-ray photoelectron spectroscopy)から,ボロン濃度の勾配が磁性膜膜面の鉛直方向にも形成されていることが明らかになった.観測された磁気特性や交流消磁状態の磁気力顕微鏡像から,膜面鉛直方向のボロン濃度拡散勾配が粒間交換結合低減と良好な媒体特性に有効であることが明らかになった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-06-05
著者
-
神田 哲典
日立マクセル
-
松沼 悟
日立マクセル株式会社
-
松沼 悟
日立マクセル開発本部
-
松沼 悟
日立マクセル
-
松沼 悟
Hitachi Maxell Development & Technology Division
-
神田 哲典
日立マクセル開発本部
-
山中 英明
日立マクセル開発本部
-
矢野 亮
日立マクセル 開発本部
-
藤田 塩地
日立マクセル株式会社 開発本部
-
小沼 剛
日立マクセル開発本部
-
神田 哲典
日立マクセル 開発本部
-
小沼 剛
Plasma Research Center University Of Tsukuba:(present Address) Tsukuba Research Laboratory Hitachi M
-
矢野 亮
日立マクセル開発本部
-
矢野 亮
日立マクセル
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