カーボンナノ構造冷陰極源を利用したマイクロフォーカスX線の発生と画像計測への応用
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概要
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カーボンナノチューブ等の高効率冷陰極材料を使用することによって,高性能かつコンパクトなX線画像計測装置を構成することが可能である。我々は,グラファイトナノファイバー(GNF)を陰極とし,Cu金属を陽極とした2極構造のX線源を作製し,透過画像計測実験をおこなった。ここで開発されたX線源と,高感度・高分解能CCDカメラを組み合わせることによって,鮮明な透過画像を(空間分解能10μm程度),測定時間10s以内で得ることができる。
- 2002-12-06
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