重水素終端によるポーラスシリコンの安定化
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概要
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ポーラスシリコンの表面を重水素で終端した構造(D-PS)を作製し、これを通常作製されている水素終端ポーラスシリコン(H-PS)と比較することによって表面終端の効果を明確にすることを試みた。その結果、ポーラス化することによって生じる発光は、微結晶内部の電子状態が表面に終端した原子の振動によって変化することに帰因することを見出した。また、水素終端ポーラスシリコンにおける発光劣化の問題を、重水素終端化技術を用いることによって大幅に改善できることを見出した。このD-PSを用いて作製したLEDを通常のH-PS-LEDと比較することによって、重水素終端化技術はEL輝度劣化の抑制のみならず、輝度の増大にも貢献できることが判明した。
- 1997-12-11
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