微量炭化ケイ素のX線回折定量の基礎的研究
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概要
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数mg以下の試料中の0.5〜2mg程度の炭化ケイ素(SiC)を薄層試料としてXRD定量する場合の問題点について研究した.SiCは高硬度で粉砕が困難なので,種々の粒度のSiC粉末を用いて回転試料台で回転させた場合と静止状態で,回折図形の再現性を調べ,定量に必要な粒度の限界を明らかにした.又,各種粒度のSiC粉末に内標準ケイ素粉末を加えた薄層試料のSiC/Si回折線強度比とSiC量との関係式を比較した.その結果,2本のSiC回折線を併用すれば,配向性や構造型混合比の変化が多少あっても,#3000〜#400の粒度のSiCを同一検量線で定量できることが分かった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1988-06-05
著者
-
岩附 正明
山梨大学大学院医学工学総合研究部工学学域
-
岩附 正明
山梨大学工学部物質・生命工学科
-
深沢 力
山梨大学工学部化学生物工学科
-
岩附 正明
山梨大学工学部
-
伊藤 醇一
昭和電工(株)総合技術研究所
-
前田 倫男
山梨大学工学部応用化学科
-
遠藤 克則
山梨大学工学部応用化学科
-
深沢 力
山梨大学工学部
-
伊藤 醇一
昭和電工(株)中央研究所
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