27aA3 VCZ法による化合物半導体結晶の育成(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1993-07-10
著者
-
川瀬 智博
住友電気工業株式会社 半導体技術研究所
-
沢田 真一
住友電工(株)基盤技術研究所
-
根尾 克司
住友電工(株)基盤技術研究所
-
川瀬 智博
住友電工(株)基盤技術研究所
-
龍見 雅美
住友電工(株)基盤技術研究所
-
白川 二
住友電工(株)基盤技術研究所
-
多田 紘二
住友電工(株)基盤技術研究所
-
薮原 良樹
住友電工(株)半導体事業部
-
横川 正道
住友電工(株)半導体事業部
-
白川 二
(株)住友電気工業基盤技術研究所
-
龍見 雅美
住友電気工業株式会社:福井工業大学
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