2次元自動PLマッピング装置の開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 横川 正道

  住友電工(株)半導体事業部

• 西根 士郎

  Atr光電波通信研

• 青田 義久

  住友電気工業

関連論文

• 27aA3 VCZ法による化合物半導体結晶の育成(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
• 低転位密度HB法GaAs単結晶の育成(バルク成長(II))
• 2次元自動PLマッピング装置の開発
• EPD自動検査システムの開発

スポンサーリンク