CVD合成膜の優先配向決定メカニズム : エピキタシャル成長IV
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概要
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Preferred orientation (PO) of chemical vapor deposited polycrystalline films greatly affects film properties. Therefore controlling PO has provoked a great deal of controversy in many years [ 1,2] . We have found a relation between PO and flux of the growth species and explained it by the rate-determining step of adsorption or reaction by applying Langmuir-type adsorption model.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2002-07-01
著者
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