表面拡散の異方性と吸着原子のドリフトによるステップバンチング(<小特集>結晶成長理論の最近の動向)
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概要
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By carrying out Monte Calro simulation, we study step bunching induced by drift of adatoms with anisotropic surface diffusion. In our model, like a Si(001) vicinal face, two types of terraces appear alternately. One is the terrace with fast diffusion parallel to the step and the other is the terrace with fast diffusion perpendicular to the step. When the drift is perpendicular to the steps, the step pairing occurs irrespective of the drift direction. And large bunches appear in a late stage, which qualitatively agrees with the experiments. However, bunching features in the steady stage vary with the drift direction.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2002-04-10
著者
-
齋藤 幸夫
慶応大理工
-
上羽 牧夫
名大院理
-
上羽 牧夫
名古屋大学理学研究科
-
齋藤 幸夫
慶應義塾大学理工学部
-
斎藤 幸夫
慶応大学理工学部物理
-
佐藤 正英
金沢大学理学部計算科学科
-
上羽 牧夫
名大・理
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