セラミックマイクロコイルの気相合成とその特性
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概要
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Various ceramic micro-coils, such as carbon,TiC, TiN, SiC, TaC, TaN, NbC, etc,have been vaporphase prepared, and preparation conditions, morphology, growth mechanism, and mechanical and electromagnetical properties were examined.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1997-07-01
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