SiCI_4-CH_4-H_2系原料を用いた化学気相蒸着法による炭化珪素の成膜条件
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概要
著者
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元島 栖二
岐阜大学
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元島 栖二
岐阜大学工学部
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元島 栖二
岐阜大学工学部応用化学科
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西尾 光司
川崎重工業株式会社技術研究所
-
末光 毅
川崎重工業株式会社明石技術研究所
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西尾 光司
川崎重工業(株)技術研究所
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末光 毅
川崎重工業株式会社
-
西尾 光司
川崎重工業(株)
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