プラズマ励起N_2ガス導入におけるカーボンマイクロコイルのモルフォロジーへの影響 : 気相成長
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概要
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N_2 Plasma-activated CVD method was tried to prepare carbon micro-coils (CMCs). Using conventional CVD method, double helical CMCs with 4-6μm coil-diameters and 0.5-1μm coil-pitches were usually obtained. However, using a N_2 plasma-activated gas method afforded single helical CMCs With finer coil-diameters or wider coil-pitches than those obtained by conventional CVD method.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-07-01
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