シリコン単結晶の融液成長におけるドーパント不純物の偏析現象 : バルク成長シンポジウムII
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1995-07-10
著者
-
小林 純夫
住友金属工業(株)総合技術研究所
-
藤原 秀樹
住友金属工業(株)
-
和泉 輝郎
住友金属工業(株) 未来技術研究所
-
小林 純夫
住友金属工業(株)
-
新谷 昭
住友金属工業(株)
-
森田 洋
住友金属工業(株)
-
藤原 俊幸
住友金属工業(株)
-
稲見 修一
住友金属工業(株)
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