CZシリコン中酸素析出現象の理論モデル : バルク結晶成長シンポジウム I

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1996-07-10

著者

• 小林 純夫

  住友金属工業(株)総合技術研究所

• 小林 純夫

  住友金属工業(株)

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