プログラム磁場印加LEC法による不純物分布制御

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1986-07-10

著者

• 福田 承生

  東北大学金属材料研究所

• 福田 承生

  光共研

• 小沢 章一

  古河電工・横浜研

• 宮入 広雄

  光共研

• 福田 承生

  光技術共同研

• 小沢 章一

  光共研

• 木村 直

  光共研

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