K-0640 DLC薄膜の圧子押込みによる強度評価法の検討(S06-3 膜特性の新評価手法)(S06 コーティング材の力学特性と損傷機構)
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概要
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In order to investigate the strength of diamond-like-carbon (DLC) thin film deposited onto the single crystal silicon, indentation tests were carried out for three kinds of film thickness. The obtained circumferential fracture patterns independent of the thickness show that the maximum radial stress may be dominant to break the film. Stress distributions of the DLC thin film itself and the interface between the DLC thin film and the substrate were also estimated analytically using the elastic solutions with the material boundary condition.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
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