528 3 次元 CA 離散転位法によるシリコン転位運動の解析

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-11-27

著者

• 渋谷 陽二

  阪大院

• 渋谷 陽二

  阪大・工学研究科・機械システム

• 清水 祐司

  阪大院

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