1129 走査型電子線誘起超音波顕微システムの開発と欠陥場の非破壊観察への応用

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-09-23

著者

• 渋谷 陽二

  阪大院

• 小山 敦弘

  阪大院

• 渋谷 陽二

  阪大・工学研究科・機械システム

• 小山 敦弘

  長崎大

• 小山 敦弘

  阪大工

• 森井 浩二郎

  シャープ株式会社

• 渋谷 陽二

  阪大

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