520 押込み試験による DLC 薄膜の強度評価法の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We study the behavior of the crack caused by indentation in the single crystalline silicon deposited by diamond like carbon film. The primary potential locations for the initiation of crack are the substrate close to the contact edge, where high values of shear stress are found. Cone crack are found to initiate from the substrate and to propagate towards the film surface. The initiation and advance of a crack is imprinted on the load-displacement curve as a kink. The cross section of the crack is observed by using focused ion beam (FIB) milling techniques. Bare single crystalline silicon substrate is also investigated to compare the influence of film. Numerical simulations in the elastic analysis are considered to compare with the experiment results.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
関連論文
- 606 カーボンナノチューブの変形が熱伝導特性に与える影響の検討(GS-1 分子動力学法,粒子法)
- 712 O(N)TB+Tersoff 連結分子動力学法によるシリコンのモード I き裂先端場の解析
- 231 O(N)TB+Tersoff 連結分子動力学法によるシリコンき裂伝ぱの解析
- 球圧子押込みによるDLC薄膜の強度評価(OS4-2 精密試験,OS4 微視構造を有する材料の変形と破壊)
- 20 ナノインデンテーションによる DLC 薄膜の強度評価
- 721 多結晶材料の粒界近傍でのナノインデンテーションにおける変位バースト特性(GS-3 結晶・破壊)
- 627 Kinetic Monte Carlo法による成膜プロセスでのステップ成長の異方性(GS-1 計算力学(2))
- 622 負のポアソン比を示す柔軟フレーム構造体の変形特性(GS-1 計算力学(1))
- 1001 グリッド構造体における内部単一部材のアクチュエーションによる構造不安定性解析(GS-1 内部構造変化)
- 分子動力学による高分子ポリイミドの力学的特性推定法に関する研究(OS2-4 高分子・ナノ複合材料システム,OS2 先端材料システム設計とメゾメカニックス)
- 405 CA法による転位網の自己組織化と加工硬化現象(GS-1 CA法ほか)
- 0317 不正咬合の頭蓋・脊柱筋骨格系に及ぼす内力バランスの最適化計算(OS33:デンタル・バイオメカニクス)
- 単結晶材料の微小硬度の上昇 : シリコンとアルミニウムの場合(材料の内部構造と力学特性)
- 273 ポリイミド分子鎖の変形挙動の密度汎関数法および分子軌道法による検討(第一原理,OSO7 電子・原子・マルチシミュレーションに基づく材料特性評価)
- 1004 NEB法によるNiTi合金におけるマルテンサイト相変態のエネルギー論的検討(GS-1 材料科学)
- 分子軌道法による酸化物クラスターとポリイミド基材界面強度に関する研究(OS7b 界面と接着・接合の力学)
- 分子軌道計算によるポリイミド表面へのSiO_2クラスターの吸着過程の解析(S09-1 計算ナノ・マイクロテクノロジーの新展開(1),S09 計算ナノ・マクロテクノロジーの新展開)
- 202 各種締結ボルトの疲労特性解明に関する研究(OS2-1締結・接合部の力学と信頼性評価1(ねじ締結体の力学と信頼性))
- 216 各種締結ボルトの疲労特性解明に関する研究(機器・要素の信頼性とヒューマンファクタ,材料・機械・構造物の安全性と信頼性,オーガナイスドセッション6)
- 605 分子動力学法による高分子ポリイミドの機械的特性に及ぼす分子構造の依存性
- ナノインデンテーション下におけるシリコン相変態の分子動力学解析(OS13f 電子・原子シミュレーションに基づく材料特性評価)
- 807 シリコン単結晶のせん断変形に対する原子間ポテンシャルの妥当性
- 413 Tersoffポテンシャル,TB法,第一原理計算によるシリコンき裂先端場の解析(GS-1 分子動力学法)
- 109 歯科用インプラントの破壊と下顎系咬合力分布の解析
- 422 歯科咬合力・モーメント分布の測定と咬合バランスの有限要素解析
- P20 高力Al合金切欠板の二段多重疲労寿命に及ぼす頻度比の影響(疲労,ポスター講演3)
- 116 高力Al合金切欠板の二段二重疲労寿命に及ぼす一次応力の影響(G.S.疲労2,九州支部 第58期総会・講演会)
- 713 脊柱系有限要素はりモデルを用いた不正咬合による脊柱変形挙動の解析(GS-2 骨形成(2))
- Si_3N_4-BN複合焼結セラミックスの疲労き裂進展挙動に及ぼすBN含有量および荷重変動の影響
- 806 窒化けい素における 2 段繰返し変動荷重下の疲労き裂進展挙動に及ぼす頻度比の影響
- P19 高力Al合金の二段多重疲労寿命に及ぼす頻度比の影響(疲労,ポスター講演3)
- 115 高力Al合金の二段二重疲労に及ぼす一次応力の影響(G.S.疲労2,九州支部 第58期総会・講演会)
- 3338 分子動力学法を用いたアモルファス合金の有限変形挙動に及ぼす温度・ひずみ速度依存性(S18-5 アモルファス合金,S18 材料の強度と組織)
- 822 SEAMによるDLC薄膜のはく離に関する非破壊観察(GS-3 計測・検査(2))
- 307 過冷却状態における2元系アモルファス金属の非平衡特性(OS-3 アモルファス)
- 913 窒化けい素の疲労き裂進展挙動の微視的観察(GS-3 セラミック)
- 509 窒化けい素の一定および変動荷重下における疲労き裂進展挙動の微視的観察
- 338 Si_3N_4-BN 複合焼結セラミックスにおける一定振幅荷重下の疲労き裂進展挙動に及ぼす BN 含有量の影響
- 窒化けい素の2段繰返し変動荷重下における疲労き裂進展挙動
- 窒化けい素における一定および非定常変動振幅荷重下の疲労き裂進展挙動
- 305 窒化けい素における 2 段繰返し変動荷重下の疲労き裂進展挙動
- 走査型電子線誘起超音波顕微システムの開発と材料内部微細構造非破壊観察への適用
- 走査型電子線誘起超音波顕微システムによる非破壊観察分解能の向上 (日本実験力学会講演論文集 2005年度年次講演会) -- (実験力学分野全般(1))
- 535 ナノインデンテーションにおける転位バーストの集団化力学挙動
- 1129 走査型電子線誘起超音波顕微システムの開発と欠陥場の非破壊観察への応用
- 520 押込み試験による DLC 薄膜の強度評価法の検討
- 207 ナノインデンテーションによる微小硬度評価と FIB-TEM を用いた内部構造観察
- 715 分子動力学法による単結晶シリコンの圧子押込みによる転位の射出と内部構造の変化
- 115 FIB-TEM によるインデンテーション直下の内部構造の観察と微小硬度評価
- 135 シリコンのインデンテーション下での転位網の発達 : 分子動力学シミュレーションによる転位ループの解析(OS07-2 MD法・GN転位・結晶塑性)(OS07 塑性に関するマルチスケールモデリングとシミュレーション)
- K-0640 DLC薄膜の圧子押込みによる強度評価法の検討(S06-3 膜特性の新評価手法)(S06 コーティング材の力学特性と損傷機構)
- 318 Phase-Fieldモデルを用いた不均質弾性体における転位挙動の解析(OS-3 転位・欠陥)
- 305 自由体積理論の構成式を用いたアモルファス金属の有限変形解析(OS-3 アモルファス)
- 406 3次元CA離散転位法によるシリコンFrank-Read源の解析(GS-1 CA法ほか)
- 528 3 次元 CA 離散転位法によるシリコン転位運動の解析
- 224 CA 離散転位法による双極子群生成・消滅メカニズムの検討
- 727 変位の 2 次勾配を考慮したひずみ勾配理論による軸対称圧子押込みの弾塑性解析
- 1113 レベルセット転位動力学法による交差すべり挙動の解析(OS11. 材料の組織・強度に関するマルチスケールアナリシス(3),オーガナイズドセッション講演)
- 901 傾角粒界特性を考慮したMulti-phase-fieldモデルによる粒成長シミュレーション(OS9. フェーズフィールド法とその応用(1),オーガナイズドセッション講演)
- 807 薄膜創製デザインにおけるコンピュテーショナルテクノロジー戦略(産学連携ポスターセッション)
- K-0109 弾性解を利用した分子動力学法によるシリコン材の圧子押込み下での転位の射出とループの形成(J01-3 変形と転位)(J01 第一原理計算・分子動力学法による材料強度評価)
- 203 ナノインデンテーションによる銅結晶粒界と自由表面近傍での欠陥相互作用の評価(GS-3 計測・検査(1))
- 709 TB-MD による単層カーボンナノチューブの引張り変形下における原子・電子構造解析
- 404 最適化計算と有限要素法を用いた頭蓋重心移動を伴う歯科咬合力学挙動の解析(GS-2 バイオエンジニアリング(2))