834 シンクロトロン放射光による MEMS 内アルミニウム配線の応力評価

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概要

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• The residual stresses on aluminum wiring in a resonance scanning mirror, which is one of micro electro mechanical systems (MEMS), were measured using a synchrotron radiation source. The aluminum wiring has the width of 40μm and the thickness of 4μm. The aluminum wiring was deposited by a sputtering method on a silicon substrate. The x-ray stress of the aluminum wiring increased with increasing applied tensile strain. Then the x-ray stress was saturated at 0.20% and has steadied till 0.24%. The tensile residual stress was occurred on the aluminum thin film and it decreased when the thin film was etched in the wiring shape.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2003-08-05

著者

• 秋田 貢一

  武蔵工大

• 秋田 貢一

  東京都市大学

• 大谷 眞一

  武蔵工業大学

• 大谷 眞一

  武蔵工大

• 萩原 芳彦

  武蔵工大

• 萩原 芳彦

  武蔵工業大学機械システム工学科

• 上田 譲

  日本信号株式会社

• 千葉 和茂

  武蔵工大

• 上田 譲

  日本信号株式会社 マイクロシステム事業推進部

• 千葉 和茂

  武蔵工業大学 工学部

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