OS4(5)-21(OS04W0318) Residual Stress Measurements on Cu Thin Films with Various Thicknesses Using Synchrotron Radiation
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-09
著者
-
秋田 貢一
東京都市大学
-
Kusano Eiji
Advanced Materials Science R & D Center Kanazawa Inst. Of Tech.
-
Akita Koichi
Dept. Of Mechanical Systems Engineering Musashi Inst. Of Tech.
-
Kumagai Masayoshi
Mechanical Systems Engineering, Musashi Inst. of Tech.
-
Ohya ShinIchi
Dept. of Mechanical Systems Engineering, Musashi Inst. of Tech.
-
Hagiwara Yoshihiko
Dept. of Mechanical Systems Engineering, Musashi Inst. of Tech.
-
Ohya Shinichi
Dept. Of Mechanical Systems Engineering Musashi Inst. Of Tech.
-
Kumagai Masayoshi
Mechanical Systems Engineering Musashi Inst. Of Tech.
-
Hagiwara Yoshihiko
Dept. Of Mechanical Systems Engineering Musashi Inst. Of Tech.
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