転位動力学モデルによるバルク単結晶育成過程の転位密度評価解析
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概要
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A computer program was developed for evaluation of the Haasen-Sumino dislocation kinetics model in which the creep strain rate is related to the dislocation density. This model extended to the multiaxial stress state was incorporated into a finite element elastic creep analysis program for axisymmetric bodies. The time variations of dislocation density and stress were obtained by use of this program for a silicon bulk single crystal with about 6 inches in diameter. It was found from the present analysis that the dislocation density increases very rapidly from the initial state to the steady state.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1994-05-25
著者
-
内田 仁
日本メクトロン(株)
-
宮崎 則幸
九州大学工学研究科物質プロセス工学専攻
-
藤岡 和正
(株)日立製作所機械研究所
-
杉野 雄史
(株)日立製作所甲府工場
-
内田 仁
九州大学大学院
-
遠藤 正寿
九州大学大学院
-
宗像 健
九州大学工学部
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