内田 仁 | 九州大学大学院
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概要
関連著者
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内田 仁
日本メクトロン(株)
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宮崎 則幸
九州大学工学研究科物質プロセス工学専攻
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内田 仁
九州大学大学院
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宗像 健
九州大学工学部
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福田 承生
東北大学金属材料研究所
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藤岡 和正
(株)日立製作所機械研究所
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杉野 雄史
(株)日立製作所甲府工場
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遠藤 正寿
九州大学大学院
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萩原 世也
九州大学工学部
著作論文
- 転位動力学モデルによるバルク単結晶育成過程の転位密度評価解析
- CZ法によるシリコン単結晶成長過程の熱応力解析
- バルク単結晶CZ育成過程の熱応力解析 : 各種単結晶における異方性の効果
- チョコラルスキー法によるバルク単結晶成長過程の熱応力解析 : 異方性解析と等方性解析の比較