反応性スパッタによる磁器釉上への TiN 膜の析出
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1991-12-01
著者
-
永野 正光
佐賀大学理工学部機能物質化学科
-
勝木 宏昭
佐賀県窯業技術センター
-
一之瀬 弘道
佐賀大学理工学部工業化学化
-
赤松 一男
佐賀大学理工学部工業化学化
-
寺崎 信
佐賀県窯業試験場ファインセラミックス部
-
寺崎 信
佐賀県窯業技術センター
-
赤松 一男
佐賀大学理工学部
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