27a-PS-10 Si(100)面における初期酸化進行過程(II)
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1998-09-05
著者
-
寺倉 清之
北陸先端大融合院
-
寺倉 清之
Jrcat
-
内山 登志弘
JRCAT-ATP
-
宇田 毅
JRCAT-ATP
-
内山 登志弘
産業技術融合領域研究所アトムテクノロジー研究体
-
宇田 毅
アドバンスソフト
-
宇田 毅
JRCAT
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