フェムト秒第2高調波発生による表面反応の探査 : Si(111)再構成面におけるClエッチング反応

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-09-13

著者

• 小林 俊介

  電総研

• 佐々木 史雄

  電総研

• 原市 聡

  産総研エレ

• 谷 俊朗

  電子技術総合研究所

• 谷 俊朗

  電総研

• 谷俊 朗

  共生科学技術研究院

• 原市 聡

  電総研

• 古室 昌徳

  電総研

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