古室 昌徳 | 電総研
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概要
関連著者
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古室 昌徳
電総研
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小林 俊介
電総研
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佐々木 史雄
電総研
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原市 聡
産総研エレ
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谷 俊朗
電子技術総合研究所
-
谷 俊朗
電総研
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古室 昌徳
電子技術総合研究所
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谷俊 朗
共生科学技術研究院
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原市 聡
電総研
著作論文
- GaAsサブミクロンホ-ル素子の感度特性
- フェムト秒第2高調波発生による表面反応の探査 : Si(111)再構成面におけるClエッチング反応
- ナノメ-タプロセス装置と無機レジスト技術
- マイクロビ-ム技術の研究 (電子デバイスの新機能構成に関する研究)
- クラスタイオンビ-ムを用いた選択成長技術の開発 (超格子素子基礎技術) -- (極薄膜ヘテロ界面の構造と特性評価)
- 電子ビ-ム,イオンビ-ムによる極微細加工 (極限技術と応用物理特集号) -- (光・粒子ビ-ムの極限)
- 電界放出形液体金属イオン源