反射角の変化と位相シフト法を用いた空間分解能の高い形状誤差測定法
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概要
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A surface profile measurement method with high spatial resolution is proposed to measure errors in the shape of mirror surfaces. A grating with a sinusoidal transmittance is illuminated by expanding light and the image of the grating is projected on a screen. The grating is shifted perpendicularly to the striped lines of the grating in the grating plane and the intensity distribution of the images is recorded by a CCD camera. A fringe scanning method is used to measure the phase of the projected images of the grating. The grating is rotated 90° in the grating plane and similar images are recorded. Intersections of the projected images of two gratings are obtained at an equal phase position of the grating. A simulation of the designed mirror surface is calculated at a given phase. Intersections calculated by simulation and the intersections obtained by measurement are compared. Displacement of intersections caused by changes in reflected angles and the quantities are obtained as vector values which indicate the changes in the direction of the gradient of the surfaces at the intersections and are proportional to the magnitude of the gradient. By changes in the phase of the grating images, the same procedure is produced and a vector map of the displacement is obtained on the images. Changes in angles of reflection are analyzed over the whole surface of the mirror by the vector map. The errors in the shape of the mirror surface are analyzed by integration of the values of the changes in the angles. A head-up-display mirror with an aspherical shape was successfully measured by this method.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2000-03-05
著者
-
神谷 和秀
富山県立大学工学部
-
野村 俊
富山県立大学工学部
-
田代 発造
富山大学工学部
-
吉川 和男
富山大学
-
田代 発造
富山大工
-
李 陽
大連理工大学
-
吉川 和男
富山大学工学部
-
神谷 和秀
富山県立大学大学院
-
野村 俊
富山県立大学大学院
-
神谷 和秀
富山県立大学
-
野村 俊
富山県立大学
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