ゾーンプレートの移動による凹面鏡の測定法
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概要
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In recent years, remarkable progress has been made in high precision machining for the production of metallic concave mirrors. However, to improve efficiency and precision in the cutting process, it is desirable to design a measurement device built into the cutting machinery and to be easy to handle. In this paper we propose a promising and practical innovation in measurement based on zone-plate interferometry. This method involves the operation of changing the curvature radius of the diffracted wave fronts by moving the zone-plate along the optical axis, and it has the merit of easy application to the measurement both spherical and aspherical mirror profiles.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1988-09-05
著者
-
田代 発造
富山大学工学部
-
辻内 順平
東京工業大学像情報工学研究施設
-
吉川 和男
富山大学工学部
-
辻内 順平
東京工業大学
-
辻内 順平
東工大工
-
辻内 順平
千葉大学工学部
-
野村 俊
富山県立技術短期大学
-
鈴木 正根
富士写真光機(株)
-
薄木 雅雄
(株)不二越
-
鈴木 正根
名古屋造形芸術大学
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