エキシマレーザ照射によるアルミナ焼結体の表面改質 : 表面平滑化について
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概要
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アルミナにエキシマレーザ照射して表面改質を試みた結果, 以下のことがわかった.<BR>(1) アレミナ表面の気孔を減少させ平滑化できる.本研究における最適な照射条件は, 空気中, 9J/cm<SUP>2</SUP>, 10Hz, 500パルスである.<BR>(2) 気孔の減少と表面の平滑化は蒸発物の再付着によるものであり.これには雰囲気気体の存在が必要である.<BR>(3) アルミナの内部影響層は1μ皿以下である.<BR>(4) エキシマレーザ照射によりアルミナ溶射皮膜の表面を封孔することができる.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1998-03-05
著者
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