レーザ光平面による位置計測法(第2報) : 二次元位置計測

概要

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レーザ光平面による位置計測法の原理に基づき, 二次元位置計測を行う方法およびキャリブレーション方法を提案し, 試作システムによって実験を行った.その結果次の結論を得た.<BR>(1) 2つの回転する平面を用いて二次元空間の位置座標を計測する方法を示した.<BR>(2) キャリブレーション方法について, シミュレーションによる検討を行った.その結果, 9点の基準点の配置法は計測平面の4つの端点を含み, 対角線の交点および対角線上に4点を配置する方法 (図6 (b) のSquareX) が良いことが明らかになった.この場合, 角度計測のばらつきを±1''とすると, キャリブレーション誤差は±5μmとなる (表2 (b)).<BR>(3) 1000mm×800mmの平面の計測範囲を持つ計測システムを試作した.SquareX法を使用したキャリブレーションを行うことにより, 計測誤差は±0.15mmであった.<BR>さらに精度を向上させるためには, 計測空間に発射されるレーザ光平面の運動を正確に表すようなモデルを作成し, 回転する平面の方程式とする必要がある.また, これらのモデルのパラメータをあらかじめ決定するようなキャリブレーション方法を開発する必要がある.
公益社団法人精密工学会の論文
1997-01-05