エキシマレーザ光照射による微小溝の形成
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概要
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合成石英ガラスにArFエキシマレーザ光を照射して微小溝の形成を試み, 照射条件と材料の性質が微小溝形状に及ぼす影響を調べ, その形成機構について検討した.その結果, 以下のことを明らかにできた.<BR>(1) 合成石英ガラスに微小溝を形成できた.<BR>(2) 微小溝が形成される照射条件は, 入射角80°以上, フルエンス4J/cm<SUP>2</SUP>以上, 照射パルス数10〜30パルスである.<BR>(3) 微小溝の方向性は入射角に依存する.入射角が90°に近づく程, 微小溝の方向性が高まり一つの溝が長くなる.<BR>(4) 偏光は微小溝の方向性に影響を及ぼさない.<BR>(5) 水晶でも石英ガラスと同様の微小溝を形成できた.
- 1998-01-05
著者
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