精密ホブ盤の誤差補正用積層構造アクチュエータの要素と性能について
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概要
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The mechanical and electrical characteristics of the PMN ceramic based piled actuator are studied : the stiffness of the actuator is influenced by the finishing accuracy of the disc element and the thickness and Young's modulus of the electrode material, the electrostrictive charac-teristics of the piled actuator is equal to the sum of the one of disc element, the actuator has the most suitable bias voltage at which it has the largest piezoelectric constant. As the result, the actuator can be used for compensating the errors of hobbing machine.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1985-07-05
著者
-
林 輝
東京工業大学精密工学研究所
-
林 輝
東京工業大学:(現)桐蔭学園横浜大学
-
野村 昭一郎
東京工業大学工学部
-
中嶋 芳弘
東京工業大学研究生:(現)凸版印刷(株)
-
林 厳
東京工業大学精密工学研究所
-
張 志〓
東京工業大学留日訪問学者
-
張 志〓
東京工業大学留日訪問学者:(現)中国治金工業所沈陽治金機械廠
-
野村 昭一郎
東京工業大学
-
林 厳
東京工業大学
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