非接触変位センサの円筒形状測定への適用 : 静電容量形変位センサの特性
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概要
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The microirregularities on surface can be eliminated in axial direction of cylinder by using a noncontact electro-static-capacitance sensor for cylindrical form measurements. This research examined such the characteristics of this sensor as the surface roughness to be eliminated, the relation between the original surface profile and the measured one, the limits of specimen diameter to be measured correctly and the effect of the sensor attitude. Finally an available condition and the usefulness of this sensor were proposed.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1983-05-05
著者
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