放射光を用いたマイクロコネクタの開発
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概要
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マイクロマシンに搭載しマシン同士を連結するためのマイクロコネクタ(直径2.5mm, 厚さ2mm)を開発した。このマイクロコネクタは幅7μm, 高さ80μm, 長さ300μmの片持ち梁構造の端子を24本有し, 端子はシンクロトロン放射光のX線を用いたディープX線リソグラフィ技術と微細めっきを組み合わせて製作した。われわれは, 結晶子サイズを小さくし, 結晶子サイズや配向をめっき成長方向に揃えることで, Niめっき構造体のヤング率および靱性を高くし, 端子製作に適用した。マイクロコネクタの電気的特性を測定し, マイクロマシンからの要求仕様を満たすことを確認した。
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2001-05-01
著者
-
羽賀 剛
住友電気工業(株) 播磨研究所
-
高田 博史
住友電気工業(株) 播磨研究所
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平田 嘉裕
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
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奥山 浩
住友電気工業(株)横浜研究所
-
奥山 浩
住友電気工業(株)播磨研究所
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高田 博史
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
-
芳賀 孝吉
住友電気工業株式会社播磨研究所
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平田 嘉裕
住友電気工業 エレクトロニクス・材料研
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羽賀 剛
住友電気工業 株式会社
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高田 博史
住友電気工業(株)
-
平田 嘉裕
住友電気工業 (株) インフラ事業推進部
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