ディープX線リソグラフィーを基本とする3次元微細加工を用いたマイクロコネクタの開発
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概要
著者
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羽賀 剛
住友電気工業(株) 播磨研究所
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高田 博史
住友電気工業(株) 播磨研究所
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平田 嘉裕
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
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奥山 浩
住友電気工業(株)横浜研究所
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奥山 浩
住友電気工業(株)播磨研究所
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高田 博史
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
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平田 嘉裕
住友電気工業 エレクトロニクス・材料研
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羽賀 剛
住友電気工業 株式会社
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高田 博史
住友電気工業(株)
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平田 嘉裕
住友電気工業 (株) インフラ事業推進部
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