奥山 浩 | 住友電気工業(株)播磨研究所
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概要
関連著者
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奥山 浩
住友電気工業(株)横浜研究所
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奥山 浩
住友電気工業(株)播磨研究所
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住友電気工業株式会社播磨研究所
著作論文
- K18 放射光とマイクロマシン
- マイクロコネクタの自動着脱機構
- 放射光を用いたマイクロコネクタの開発
- ディープX線リソグラフィーを基本とする3次元微細加工を用いたマイクロコネクタの開発
- 自動着脱機能を持つマイクロコネクタの開発
- 放射光によるPZT微細加工と複合圧電材料への応用
- 超電導小形シンクロトロン光源を用いたLIGAプロセスの開発
- シンクロトロン放射光を用いた微細加工