423 LIGAで製作したマイクロコネクタ端子の機械特性(WS-1 マイクロデバイスの加工と材料評価)
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概要
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We estimated mechanical properties of LIGA-based Ni-terminals for the microconnector. The specimen is a quarter of an oval with a 250 μm long axis, 150 μm short axis, 11 μm width and 83 μm height. We obtained the load-deflection curve using a micro hardness measurement system. Young's modulus of 2.5xl0^5 N/mm^2 and elastic limit of 1000 MPa were obtained analyzing the results. Compared with the bulk material, the Young's modulus was 1.3 times greater and the elastic limit two times greater. Further, we measured the distribution of the density and confirmed homogeneity of the Ni electroforming along the growth direction.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-03-16
著者
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平田 嘉裕
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
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奥山 浩
住友電工光通信研究所
-
奥山 浩
住友電気工業(株)横浜研究所
-
羽賀 剛
住友電工
-
平田 嘉裕
住友電工(株)
-
平田 嘉裕
住友電気工業 エレクトロニクス・材料研
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