SRリソグラフィを用いて製作した複合圧電材料の内部共振(<特集>半導体エレクトロニクス)
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概要
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A ceramic micro fabrication process has been developed for the 1-3 piezo-electric composites which is suitable for high frequency, wideband ultrasonic transducer. This process employs synchrotron radiation (SR) lithography and a micro molding process. This process realized an array of lead zirconate titanate (PZT) rods whose cross section is 25 microns. The material is expected to improve the resolution of the ultrasonic diagnosis, because composites can transmit a short ultrasonic pulse and have high sensitivity. In addition, when circular shape PZT rods is arranged at the apex of the regular triangle, the internal resonant mode became clear to be suppressed.
- 社団法人日本材料学会の論文
- 2006-02-15
著者
-
高田 博史
住友電気工業(株) 播磨研究所
-
平田 嘉裕
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
-
仲前 一男
住友電気工業株式会社播磨研究所
-
仲前 一男
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
-
高田 博史
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
-
沼澤 稔之
住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所
-
平田 嘉裕
住友電気工業 エレクトロニクス・材料研
-
沼澤 稔之
住友電気工業(株) 播磨研究所
-
高田 博史
住友電気工業(株)
-
平田 嘉裕
住友電気工業 (株) インフラ事業推進部
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