m軸およびa軸オフ角C面サファイア基板上のAlN結晶成長の特徴と高出力AlGaN深紫外LEDの作製

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概要

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• 2011-11-10

著者

• 平山 秀樹

  独立行政法人理化学研究所

• 前田 哲利

  独立行政法人理化学研究所

• 藤川 紗千恵

  独立行政法人 理化学研究所

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