DFFCを用いた薄膜試料の面抵抗値の推定法

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概要

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• 2008-07-11

著者

• 福永 香

  情報通信研究機構

• 山中 幸雄

  情報通信研究機構

• 吉村 慶之

  石川県工業試験場

• 西方 敦博

  東京工業大学

• 登坂 俊英

  情報通信研究機構

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