パルスレーザー堆積法による紫外光学素子用フッ化物薄膜の製作
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概要
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- 2012-07-13
著者
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吉川 彰
東北大学
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吉川 彰
東北大学多元物質科学研究所
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吉川 彰
東北大金研
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須山 敏尚
株式会社トクヤマ
-
吉川 彰
東北大学 多元物質科学研究所
-
種村 眞幸
名古屋工業大学都市循環システム工学科
-
小野 晋吾
名古屋工業大学
-
須山 敏尚
(株)トクヤマ研究開発部門開発センター
-
種村 眞幸
名古屋工業大学 大学院工学研究科 未来材料創成工学専攻
-
種村 眞幸
名古屋工業大学
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