32nmノード以降のメタルゲート/high-k CMOSの接合形成技術
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概要
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- 2010-07-08
著者
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川崎 洋司
(株)ルネサステクノロジ
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山下 朋弘
(株)ルネサステクノロジ
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川崎 洋司
ルネサスエレクトロニクス(株)
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山下 朋弘
ルネサスエレクトロニクス株式会社 生産本部
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山下 朋弘
ルネサスエレクトロニクス株式会社
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