スピンキャストにおける前駆体溶液濃度のポリスチレン超薄膜物性への影響
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概要
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- 2010-11-25
著者
-
小林 慶規
産総研計測標準
-
扇澤 敏明
東工大院理工
-
小林 慶規
産業技術総合研究所
-
伊藤 賢志
産業技術総合研究所
-
伊藤 賢志
産総研企画本部
-
扇澤 敏明
東京工業大学大学院理工学研究科有機高分子物質専攻
-
扇澤 敏明
東京工業大学大学院理工学研究科 有機・高分子物質専攻
-
扇澤 敏明
東京工業大学大学院有機・高分子専攻
-
阿多 誠介
東工大院理工
-
阿多 誠介
東京工業大学大学院理工学研究科有機高分子物質専攻
-
本間 立樹
東京工業大学大学院理工学研究科有機高分子物質専攻
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