ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いたき裂進展解析

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概要

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• 2010-04-25

著者

• 大村 悦二

  大阪大学大学院工学研究科

• 小川 健輔

  大阪大学工学部

• 熊谷 正芳

  浜松ホトニクス(株)

• 中野 誠

  浜松ホトニクス(株)

• 福満 憲志

  浜松ホトニクス(株)

• 森田 英毅

  浜松ホトニクス(株)

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