シリコン単結晶のレーザアブレーションの三次元分子動力学シミュレーション : 超短パルスレーザによる材料加工現象(第3報)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Rapid fusion and evaporation phenomena of silicon with ultrashort-pulse laser irradiation were simulated by a three-dimensional molecular dynamics model. Evaporation process was elucidated, and both propagation velocity of shock wave and scattering velocity of evaporated atoms were analyzed quantitatively. Crystal orientation dependence of laser shock phenomena and fusion process was also examined with the models of Si (100) and Si (111) surfaces. Laser absorption in the material, that is, absorption coefficient is dominant in fusion process with subpicosecond pulse laser irradiation.
- 社団法人溶接学会の論文
- 2001-11-05
著者
-
大村 悦二
大阪大学大学院工学研究科
-
福本 一郎
日本原子力研究所
-
宮本 勇
大阪大学大学院工学研究科
-
石坂 有里
大阪大学大学院
-
石坂 有里
大阪大学大学院:(現)住友電工
-
大村 悦二
大阪大学大学院
関連論文
- OJE(On the Job Education)法による工学教育 : 徳島県阿南市をフィールドとした演習(21年度第4回研究会)
- ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いたき裂進展解析(M&M2009材料力学カンファレンス)
- 16・5 エネルギービーム加工(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 6-325 OJE法による工学教育 : 10.徳島県阿南市をフィールドとした演習(口頭発表論文,オーガナイズドセッション「イノベーションを支える工学教育」)
- レーザテクスチャリングにおけるバンプ形成メカニズムの熱流体解析
- 346 レーザテクスチャリングにおけるバンプ形成
- ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いたき裂進展解析
- ガラスのレーザスクライブにおける亀裂進展解析(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- D18 ガラスのレーザスクライブにおける予亀裂導入モデルによる熱弾性解析(OS-9 レーザ応用加工(2))
- レーザスクライブ線に沿ったレーザ照射によるガラスの亀裂伸長
- ガラスのレーザクロススクライブにおける熱応力解析
- ガラスのレーザスクライブにおける亀裂の局所進展
- ガラスのレーザスクライブにおける三次元熱応力解析(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ガラスのレーザスクライブにおける熱応力解析
- 透過性パルスレーザによる極薄シリコンウェハの内部改質
- ナノ秒レーザによる単結晶シリコンの内部改質層形成機構の解析(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノテク最前線 ナノ秒レーザによる単結晶シリコンの内部改質層形成機構の解析
- 超短パルスレーザアブレーションの分子動力学シミュレーション(1.レーザ加工の加工現象,創立110周年記念最新のレーザ加工技術)
- レーザの多重反射と蒸発を考慮したレーザ穴あけ加工の熱流体解析(第2報)レーザの多重反射と材料の蒸発を考慮したレーザ穴あけシミュレーション
- レーザの多重反射と蒸発を考慮したレーザ穴あけ加工の熱流体解析(第1報)光線追跡を用いたレーザの多重反射シミュレーション
- 集光ビーム繰り返し照射下における第二高調波発生の温度分布解析とその高変換効率化の検討
- 単結晶シリコンの吸収係数温度依存性測定
- 428 透過性ナノ秒レーザによるシリコンの内部改質層形成機構(OS-14 レーザ応用加工)
- レーザによる熱加工
- レーザの多重反射を考慮したキーホール挙動の熱流体解析
- ガウス形分布の移動熱源による有限平板の温度分布解析 : 第1報、レーザ硬化処理に関する研究
- レーザ穴あけにおける多重反射を考慮した熱流体解析 (特集 レーザ加工を科学する)
- OJE (On the Job Education) 法による工学教育 : 徳島県阿南市をフィールドとした演習
- 超高速研削における幾何学的表面と温度分布のシミュレーション
- G1301-1-1 単結晶ダイヤモンドのレーザ加工メカニズムに関する研究(生産加工・工作機械一般)
- レーザアブレーションによる穴あけ加工のシミュレーション(熱・応力設計,システム実装を支える設計・シミュレーション技術)
- Molecular Dynamics Analysis of Elementary Process of Coating by a High-Temperature, High-Speed Droplet : Flattening Process and Atomic Behavior of a Droplet
- フェムト秒レーザによるタングステン表面のマイクロスパイクアレイ生成機構の解析
- 234 ナノ秒レーザによる単結晶シリコンの内部加工の解析(レーザ加工(III),平成18年度春季全国大会)
- 232 CO_2レーザ照射によるアルミナ溶射皮膜の改質(レーザ加工(II),平成18年度春季全国大会)
- CO_2レーザ照射によるアルミナ溶射皮膜の改質
- 国際会議報告 LAMP2006参加報告
- 結像光学系の回折を考慮したプリント基板レーザ穴あけの樹脂除去解析
- フェムト秒レーザダブルパルスによるクロム薄膜アブレーション
- 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析 : 液滴の扁平過程と原子挙動(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 319 結像光学系の回折を考慮したプリント基板レーザ穴あけの樹脂除去解析(OS13 レーザ応用加工)
- 第二高調波発生に及ぼすパルス波形の影響(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 二軸性正結晶KTiOPO_4により発生する第二高調波のビームプロファイル解析(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- KH_2PO_4結晶により発生する第二高調波のビームプロファイル解析(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- フェムト秒レーザダブルパルスによるクロム薄膜アブレーション(S55-2 レーザ加工(2),S55 レーザ加工)
- 伝熱シミュレーションの基礎と応用
- 8-110 OJE法による工学教育 : 11.ビジネスエンジニアリング専攻におけるテクノロジーデザイン教育((06)工学教育の個性化・活性化-II,口頭発表論文)
- フェムト秒レーザー駆動衝撃による鉄の高圧相凍結
- フライス切削における円板の熱的挙動の理論的解析
- プリント基板のレーザ穴あけにおける樹脂除去の解析
- ArFエキシマレーザーによる光学部品材料(BK-7)の加工
- 226 高速度撮影の画像処理に基づくキーホール挙動の解析 : レーザ溶接におけるキーホール現象の解析(第3報)
- 超短パルスレーザ照射による金属の溶融・蒸発過程の研究
- YLFレーザーによる磁気ディスク基板への突起形成
- エキシマレーザーを用いた光学ガラス加工
- CO_2レーザー加工機の波動光学に基づく伝播解析
- OS0104 ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いたき裂進展解析(弾性数理解析とその応用,オーガナイズドセッション)
- ガウシアンビーム照射による第二高調波発生効率の理論的解析
- レーザによるSiの表面損傷シミュレーション
- ピコ秒パルスレーザアブレーションにおける微粒子の飛散シミュレーション : 超短パルスレーザによる材料加工現象(第4報)
- シリコン単結晶のレーザアブレーションの三次元分子動力学シミュレーション : 超短パルスレーザによる材料加工現象(第3報)
- ピコ秒パルスレーザアブレーションプロセスの分子動力学解析 : 超短パルスレーザによる材料加工現象(第2報)
- レーザアブレーションにおける蒸発粒子の飛散
- レーザアブレーション現象の分子動力学解析 : 衝撃波の伝播と固液界面の移動
- ガウシアンビーム照射によるレーザ衝撃現象の分子動力学解析
- 超短パルスレーザアブレーション現象の分子動力学解析
- レーザ衝撃現象の分子動力学シミュレーション
- 超短パルスレーザによるマイクロ加工の分子動力学シミュレーション
- 超短パルスレーザアブレーションの分子動力学シミュレーション
- 金属を対象とした改良型分子動力学法の開発 : 超短パルスレーザによる材料加工現象(第1報)
- 112 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発過程の研究 : 策9報 , 表面構造を考慮したシリコンの分子動力学シミュレーション
- 111 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発過程の研究 : 策8報 , 金属相転移の改良型分子動力学法による解析
- レーザ誘起衝撃波による転位の生成と挙動に関する分子動力学シミュレーション
- 309 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発課程の研究 : 策7報, シリコンのレーザ加工に関する三次元分子動力学シミュレーション
- 308 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発課程の研究 : 策6報, アブレーションおよび熱衝撃現象の分子動力学シミュレーション
- レーザ加熱による表面蒸発と超微粒子生成 -分子動力学シミュレーション-
- レーザ誘起衝撃に伴う転位の生成と挙動 -分子動力学シミュレーション-
- 金属およびシリコンのレーザアブレーションの分子動力学シミュレーション
- 繰り返し照射下におけるレーザ吸収を考慮した第二高調波発生と出力パルスひずみの解析
- 非線形光学結晶による第二高調波発生の温度依存性に関する理論的解析
- ガウシアンビーム照射による第二高調波発生効率の理論的解析
- 非線形光学結晶によるレーザ吸収の第二高調波発生効率への影響
- 16・5 エネルギービーム加工(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- レーザーアブレーション現象の分子動力学シミュレーション
- 314 高速度撮影画像に基ずく溶接現象の解析 : レーザ溶接におけるキーホール現象の解析(第8報)
- 222 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発課程の研究 : 第4報, 動画表示による分子動力学シミュレーション
- 動画表示によるレーザ加工の分子動力学シミュレーション
- レーザ照射による蒸発を伴う溶融現象の熱流体解析
- 329 レーザ照射による蒸発を伴う溶融現象の熱流体解析
- 229 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発過程の研究 : 第2報、三次元分子動力学シミュレーション
- レーザ照射による金属の溶融・蒸発過程の研究 -3次元分子動力学シミュレーション-
- 330 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発過程の研究 : 第3報, 金属の改良型分子動力学シミュレーション
- 449 超短パルスレーザ照射による金属および半導体の溶融・蒸発過程の研究 : 分子動力学シミュレーション
- P-24 イノベーションリーダー養成を狙ったOJE法による実践型演習((18)工学教育システムの個性化・活性化,ポスター発表)
- A28 パルスレーザによるガラスのレーザスクライブにおける熱応力解析(OS9 レーザ応用加工(2))
- A23 光吸収性媒質中における超短パルスレーザの自己集束現象と温度場の解析(OS9 レーザ応用加工(1))
- ステルスダイシングの加工原理
- 金属の微小引っかきに関する研究
- Analysis of Formation Mechanism of Microspike-Arrays on Tungsten Surface by Femtosecond Laser Irradiation
- 9-219 OJE法による工学教育 : 17. 商品開発を志向したものづくり演習(OS プロジェクトマネジメントとPBL-IV,口頭発表)