圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの多値動作化
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-06-01
著者
-
川久保 隆
東芝リサーチ・コンサルティング株式会社
-
西垣 亨彦
(株)東芝 研究開発センター
-
長野 利彦
(株)東芝 研究開発センター
-
大野 浩志
(株)東芝 研究開発センター
-
板谷 和彦
(株)東芝 研究開発センター
-
川久保 隆
東芝リサーチ・コンサルティング(株)
関連論文
- 高輝度緑色LED
- 擬似SoC技術を用いた集積型MEMS-半導体マイクロチップの開発
- 擬似SOC技術によるMEMSセンサとセンスアンプLSIの薄型集積化モジュール
- 携帯端末向け地上デジタル放送用周波数可変チューナブルアンテナの検討
- 圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの多値動作化
- 異種デバイスを高密度集積化できる擬似SOC技術
- 擬似SOC集積化における応力解析 : 樹脂チップ間応力の低減(チップ・パッケージ・ボードにおけるパワーインテグリティの設計評価,LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術、テスト技術、一般)
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- 圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの電気特性
- RF-MEMSデバイス (特集 イノベーションを支えるナノエレクトロニクス)
- 擬似SOC技術によるMEMSセンサとセンスアンプLSIの薄型集積化モジュール
- 擬似SoC技術を用いた集積型MEMS-半導体マイクロチップの開発
- 擬似SOC集積化における応力解析 : 樹脂チップ間応力の低減(チップ・パッケージ・ボードにおけるパワーインテグリティの設計評価,LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術、テスト技術、一般)
- 擬似SoCを用いた異種デバイス集積ウエハレベルシステムインテグレーション技術(高密度システムインテグレーション技術,デザインガイア2010-VLSI設計の新しい大地-)
- 擬似SoCを用いた異種デバイス集積ウエハレベルシステムインテグレーション技術(高密度システムインテグレーション技術,デザインガイア2010-VLSI設計の新しい大地)
- GaN系青色レーザの試作と転位運動の解析
- GaN系青色レーザの試作と転位運動の解析
- 630nm帯可視光半導体レ-ザ
- 圧電駆動形MEMSバリキャップ技術(学生/教養のページ)
- 高品質YBCO薄膜の配向性制御
- バリア層の薄いYBCO/PBCO/YBCO接合の電気特性
- デバイス化に向けた高温超伝導薄膜技術 (薄膜機能材料)
- 磁束量子素子を用いた超高速デジタル回路
- 発見型研究における発見志向の研究行動を促すマネジメントに関する定性的研究
- 発見型研究における発見志向の研究行動を促すマネジメントに関する定性的研究