実用極高真空電子銃
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概要
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We have developed practical XHV chambers of a electron gun, of which the operating pressures are 1×10-9 Pa in a stainless-steel one and 4×10-9 Pa in a permalloy one. By mounting a noble single-atom electron source with high brightness and high spatial coherence on the electron gun including electron optics, we demonstrated highly collimated electron-beam emission: ~80% of the total emission current entered the electron optics. This ratio was two or three orders of magnitude higher than those of the conventional electron sources. In XHV, in addition, we confirmed stable electron emission up to 20 nA, which results in the specimen current high enough for scanning electron microscopes.
- 日本真空協会の論文
- 2008-10-20
著者
-
大島 忠平
早稲田大学理工学部応用物理学科
-
大島 忠平
無機材研
-
大島 忠平
早稲田大学 各務記念材料技術研究所
-
大島 忠平
早稲田大学理工学部
-
石川 剛
早稲田大学理工学部応用物理学科
-
大島 忠平
早稲田大学
-
裏田 友洋
早稲田大学各務記念材料技術研究所
-
趙 福來
早稲田大学各務記念材料技術研究所
-
趙 福來
(独)科学技術振興機構 さきがけ研究
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