Al/Ti積層材のTi-Al-N薄膜用スパッタターゲットへの応用
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概要
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- 2003-04-20
著者
-
山崎 登志成
富山大学大学院理工学研究部
-
穴田 博
富山大学大学院理工学研究部
-
古井 光明
富山大学工学部物質生命システム工学科
-
古井 光明
富山大学大学院理工学研究部(工学)
-
穴田 博
富山大学工学部物質生命システム工学科
-
奥村 善雄
大同工業(株)技術部
-
山崎 登志成
富山大学
-
亀井 邦治
富山大学(学)
-
古井 光明
富山大学大学院理工学研究部
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