反応スパッタ法によるTi-Al-Si-Nナノコンポジット膜の作製
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概要
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- 粉体粉末冶金協会の論文
- 2004-11-15
著者
-
鈴木 宏章
富山大学大学院
-
野城 清
大阪大学接合科学研究所
-
野瀬 正照
国立高岡短期大学
-
野瀬 正照
富山大学芸術文化学部
-
穴田 博
富山大学大学院理工学研究部
-
穴田 博
富山大学工学部物質生命システム工学科
-
前 健彦
富山工業高等専門学校
-
奥村 善雄
大同工業(株)技術部
-
本保 栄治
富山県工業技術センタｰ
-
前 健彦
国立富山工業高等専門学校
-
穴田 博
富山大学工学部
-
本保 栄治
富山県工業技術センター
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