温度・歪の同時計測触覚センサ用Fe-Pd感温薄膜およびCr-N感歪薄膜
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概要
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- 2000-12-20
著者
-
佐々木 祥弘
電磁研
-
丹羽 英二
電磁研
-
増本 剛
電磁研
-
本間 基文
東北職業能力開発大学校
-
佐々木 祥弘
(財)みやぎ産業振興機構
-
丹羽 英二
(財)みやぎ産業振興機構
-
増本 剛
(財)電気磁気材料研究所
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